上海芯源微企業發展有限公司成立于2021年，是沈陽芯源微電子設備股份有限公司的全資子公司。上海芯源微主要開展28nm及以下高端工藝技術節點的集成電路光刻工藝涂膠顯影設備、化學清洗設備及其核心零部件研發及產業化，打造更高技術節點半導體設備，更好服務前道用戶。2022年，上海芯源微承擔建設的“芯源微臨港研發及產業化”項目主體工程在臨港新片區重裝備產業區全面開工，園區占地45畝、規劃總建筑面積約5.4萬平方米，將于2023年第四季度竣工，建成后將具備較強的國際先進水平半導體設備研發能力，加速高端半導體設備國產替代進程。