2022年12月17日，恰逢沈陽芯源微電子設備股份有限公司（上交所股票代碼：688037）成立滿二十周年，公司通過線上直播的方式，正式發布前道浸沒式高產能涂膠顯影機新品FT（III）300。公司前道設計部總監、浸沒式機臺主設計師程虎先生詳細介紹了該款機臺的技術性能及客戶端驗證情況，公司董事長兼總裁宗潤福先生等公司領導作為交流嘉賓參與了線上互動。

“作為芯源微自主開發的第三代機型，浸沒式高產能涂膠顯影機具有高產能、高工藝能力、高潔凈度、高擴展性和易維護性等優勢。目前，該款機型已通過客戶端驗證，達到客戶量產要求，成功打破國外壟斷，填補國內空白”，芯源微前道設計部總監程虎表示。

“該款機型采用獨創的對稱分布高產能架構，滿配36Spin處理單元，搭載公司自主研發的雙向同步取放機械手，可大幅提升整機的機械傳送產能和傳送精度，能夠匹配全球主流光刻機聯機生產，可在復雜工藝下實現300片以上產能。此外，機臺還搭載了公司開發的精確溫度調制（PTM）技術，使熱盤烘烤溫度均勻性達到業界領先水平；全新的Spin單元實時控制技術，可有效提升機臺運動控制及流體控制精度、響應性及穩定性，持續為客戶降低成本；通過仿真優化設計整機流場，確保內部微環境均勻穩定，提升整機的潔凈度等級；全系列輔助功能單元，包含AOI、WEE系統等，可在線式檢測晶圓工藝缺陷，減少不良品流出?！? “該款機型通過選配可全面覆蓋I-line、KrF、ArFdry、ArF浸沒式等多種光刻技術，也適用包括SOC、SOH、SOD等在內的其他旋涂類應用。為應對未來光刻機產能的不斷提升，該機型還可擴充至更多處理單元，由目前的36 Spin擴展為48 Spin，產能提升到每小時360片，同時實現在低占地面積下兼顧機臺易維護性，有效提升機臺維護效率?！?/span>

成立二十年來，公司始終聚焦于涂膠顯影技術領域，可謂二十年磨一劍。本次前道浸沒式高產能涂膠顯影機的成功推出，將進一步豐富公司的產品結構，實現公司在前道晶圓加工環節28nm及以上工藝節點的全覆蓋，并可持續向更高工藝等級迭代，鞏固和提升公司在行業內的技術競爭優勢。 。

公司董事長兼總裁宗潤福先生表示：“這是公司發展的又一重要里程碑，我們很高興地看到，國內越來越多的客戶已經在加速對國產高端涂膠顯影設備的導入進程，未來芯源微將繼續致力于產品創新和技術提升，為客戶提供更好的綜合技術解決及服務方案，為客戶創造價值，成為受社會尊重的世界級企業”。