沈陽芯源微電子設備股份有限公司

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KS-S150 星型全自動涂膠顯影機

KS-S150星型全自動涂膠顯影機用于LED-PSS工藝的涂膠顯影制程及化合物半導體的涂膠顯影等制程?？杉嫒菟{寶石、砷化鎵和碳化硅等材質的晶圓，產品涉及多個應用領域，涂膠機產能大于190片/小時。設備通過了CSA認證。

產品優勢：

1.占地小、穩定性高、操作與維護方便
2.產能高，涂膠機產能大于190片/小時
3.光刻膠用量小，4寸用量0.6ml
4.優異的流場設計，涂膠均勻性好

應用領域：

●傳感器芯片制造
●光通信芯片制造
●功率芯片制造
●LED芯片制造
●圖形化襯底制造
●化合物半導體領域

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